***廠風淋室潔凈室環境指標與監測位置確定

6.1.1   IE部確立潔凈室環境指標以及監測點位置（如：微塵粒子、溫濕度等）并制作LAYOUT，經部門經理批準后發送至工程和品質等部門進行檢測，當車間LAYOUT變更時，IE部及時更新LAYOUT并升級版本，經部門經理批準后發送至工程和品質等部門。

6.1.2   除FPC事業部的潔凈室無ESD要求外，其它所有潔凈室必須符合ESD標準，詳情細節可參考《ESD車間運轉和維護指引》相關要求。

6.1.3   公司潔凈室有10000級、5000級、1000級、100級之分，表示每立方英尺室內空氣中分別含有大于或等于0.5μm （10^-6m）的微塵粒子不超過10000、5000、1000及100顆即為合格，測量時使用微塵粒子計數計，距地板高 1.2~1.25 M

6.1.4   潔凈室溫度標準為23±2°C ，濕度標準為60±10%，測量時使用溫濕計，距地板高 1.2 M

6.1.5   潔凈室室內壓力與室外壓力差在5Pa~20Pa 為正常

6.1.6   潔凈室噪音小于65分貝為正常，測量時使用噪音計，距地板高 1.2~1.25M

6.1.7   潔凈車間必須符合相關照度要求，具體標準可參考《ESD車間運轉和維護指引》相關規定。

6.2   潔凈室運轉管理

6.2.1   作業人員進出管理

6.2.1.1   對潔凈室內相關作業人員必須進行相關的知識培訓，經考試合格后，方可進入潔凈室工作，培訓內容及頻率如下：

6.2.1.2   作業人員進入潔凈室數目以維持最小限度為原則（愈少愈好），并依潔凈室進出標準流程進出潔凈室，如下圖所示。出則相反方向進行，只是不須經風淋室之脫塵處理，而從風閘室出來，同時注意以下事項：

風淋室噴嘴口應固定角度，以確保人體各個部位都可以吹到

使用時人員應垂直站立，并轉體三圈，以使全身上下都能接受沖洗的效果,并且風淋室風淋的時間15S

風淋室的可容納人數視風淋室的面積及噴嘴個數決定，人數規定應張貼于各風淋室

6.2.1.3   作業人員進入潔凈室必須按要求穿防靜電衣、防靜電工鞋，并戴好防靜電手套和膠手套，膠手套若有污跡可用酒精擦洗干凈，如有破損得即時更換，其著裝要求及行為規范如下：

著裝防靜電衣時，頭發不得外露（長發需用發夾，發網夾起）

口罩必須蓋住鼻孔，避免呼出氣體直接進入空氣

頸部衣領扣必須扣好，不留空隙，不得露出內部衣物

禁止在潔凈室內卷起衣袖、褲腿，戴上手套后，禁止觸及不潔凈的東西

人員步行及作業要靜靜地進行，禁止在潔凈室內跑動，以控制發塵量。

禁止在車間內戴手套、拉開衣袖和褲角、將衣服和鞋子的拉鏈拉開

6.2.2   物料、設備進出管理

6.2.2.1   除了人員進出潔凈室須予以規范管理外，原物料及設備之進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響潔凈室之潔凈度。其進出潔凈室之流程如下圖所示。

設備進出流程：

6.2.2.3   搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板，作為輔助

6.2.2.4   物品及工作臺擺放不可堵住回風口，以免影響氣流流動。

6.2.2.5   各工序生產中周轉使用的容器，必須設置清潔點，或專用清潔區，按公用作業指導進行清潔后的容器方可投入使用。

6.2.3   潔凈室內用品管理

6.2.3.1   潔凈室工作臺采用不銹鋼材質制成，并在表面鋪防靜電膠皮。

6.2.3.2   搬運車材料采用不銹鋼，車輪為耐磨性高的橡膠輪，推送搬運車時不得急速運推而以緩行為適。

6.2.3.3   使用影印資料，則須將文件放在透明之塑膠套內或加覆背，同時不可于室內撕破或將紙柔成一團，避免造成環境之污染。

6.2.4   化學用品管理

6.2.4.1   潔凈室內化學用品如酒精，丙酮，黑膠等領用，儲存應按照MSP-Z-016-005 《化學品管理指引》的相關要求執行。

6.2.4   潔凈室清潔與維護管理

6.2.4.1   規劃各設備配置空間時，事先宜考慮不易積聚微塵之結構，并以容易清潔為原則。

6.2.4.2   真空泵等容易產生污染物的這類設備，應裝排氣管線排氣。

6.2.4.3   生產及相關設備應定期清掃，以避免微塵堆積，詳情細節可參考MSP-Z-L013-003《LCM車間安全和清潔維護指引》文件規定執行。

6.2.4.4   生產設備需每月定期保養，保養應按各作業指示進行。

6.2.4.5   磨損、切削均為發生微塵的原因，工作時需用將發塵部份蓋住。

6.2.4.6   易產生塵埃的設備，若可能的話應布置于風尾地點

6.2.4.7   在作業過程中，盡量減少觸摸零件或產品的次數

6.2.4.8   各項廠務設施的供應（如：水、氣體和化學品）在進入生產設備前應有過濾設備

6.2.4.9   為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥設置

6.3   潔凈室環境指標監測與維護

6.3.1   潔凈室內微塵粒子數、照度由品質部每月測量一次，并將測試數據分別填入<微塵粒數測試記錄>和<照度測試記錄表>中。

6.3.2   潔凈室內壓差、溫濕度由品質部每日測量一次，并將測試數據分別填入<潔凈室壓差記錄表>和<溫濕度記錄>中。

6.3.3   潔凈室內噪音由品質部每半年測試一次，并將測試數據填入<潔凈室噪音測試記錄表>中。

6.3.4   若潔凈室各項環境指標異常，由品質部聯絡行政部，由其自行或聯絡施工單位進行改善，若潔凈室某一局部微塵粒子超標（如：無塵臺、打印機），可聯絡IE部進行改善。

6.3.5   用于測量溫濕度、微塵粒子數、照度、壓差及噪音的儀器應由儀器工程師負責每年送計量所校正一次

6.3.6  若以上標準如某一方面與客戶標準有沖突，以客戶標準為準，如客戶無明確要求或認可此標準，按以上標準執行。

資料整理：青島美特斯凈化設備有限公司   趙德平