風淋室在干膜線路板行業的應用

1.0目的

本文件旨在建立干膜線路工序之操作規范，工藝控制要求，過程中品質要求，設備的日常維護方法和要求。

2.0范圍

適用于干膜線路工序工藝過程之磨板、絲印濕膜、貼膜、菲林制作、對位曝光、內層顯影、外層顯影及檢查/修理。

3.0定義

光成像——指將底片的線路圖像轉移到覆銅板上，形成一種抗蝕或抗電鍍的掩膜圖像。

4.0 安全生產

4.1 加藥物或返洗板時要戴膠手套。

4.2 設備故障要第一時間反饋給當工序設備工程師維修。

4.3濺到地上的化學品立即用碎布擦干凈，濺到皮膚上時應立即用碎布擦干凈，然后用大量自來水沖洗干凈。

4.4嚴禁操作沒上蓋子或沒安裝好的機器。

4.5非自己負責的機器嚴禁亂動，自己負責的機器不得隨意調整各開關及零部件。

4.6酒精易揮發易燃藥品使用完畢后蓋上蓋子，所有藥品及物料取用后均應加蓋，并放在指定區域。

5.0環境要求

5.1 凈化房的環境要求：溫度 18～24℃，相對濕度 55-5/+8%，采用安全的黃色燈光。

5.2進入凈化房前，必須在更衣處穿上專用的無塵服、無塵鞋，穿著要規范，不允許敞開衣領。頭發不允許露在帽子外面。無塵服、無塵鞋兩周至少清洗一次。

5.3 進入凈化房，必須在風淋室進行風淋30秒，任何人不得隨意調整風淋時間。干膜進車間應在緩沖間去掉紙箱后方可帶入無塵房。

5.4 凈化房內任何房門、窗門不允許無人通過時開著。

5.5 做板過程中各工位產生的垃圾必須放入專用的廢料桶/袋內，不得隨意丟放，時刻保證自己工位環境衛生。

5.6 凈化房時每天下班前必須對地板、設備、工作臺進行清潔。

5.7 凈化房每周進行一次立體大掃除。

6.0工藝流程圖

 來板檢查→磨板→靜電粘塵→貼膜（絲印濕膜）→菲林制作檢查→對位曝光→顯影→檢查修理→送下工序

資料整理：青島美特斯凈化設備有限公司   趙德平