風淋室：FPC行業IPQC檢測規范

檢驗項目

干膜：A、查核車間有未定期做潔凈度的測試，粘塵墊有未更換，人員在進入車間時必須在風淋室內吹淋。

B、核對所用干膜是否與現場SOP文件相一致.

      C、核對壓膜參數：包括壓力、速度、溫度是否與《條件設定表》相一致.

      D、檢驗干膜附著力是否會從基材上面直接剝落，有無氣泡、雜質等不良現象，靜止時間是否

符合文件要求.

      E、采用濕壓貼膜時，需確認純凈水內有無臟物，水位是否保持在2/3框子之高度，并確認壓

膜后材料割邊清潔狀況.

曝光：A、檢查機種版本與菲林版本與工單、圖紙是否一致.

B、確認菲林挖空時有未挖到成型區，有無膠帶貼反等現象.

C、確認菲林有未進行編號，以便后續追溯.

D、確認菲林四周有未設計黑邊.

E、確認作業員在對位時有未按方向孔對位，撕菲林時是否斜角撕.

F、每2H查核一次曝光等級與抽真空值是否與SOP文件之要求并檢查干膜車間溫濕度是否在要求范圍內.

G、檢驗曝光時是否有曝光過度，曝光偏移，吸真空不良等不良現象.

H、檢查曝光機臺面之清潔情況并確認Mrlar膜是否依規定定期更換.

蝕刻：A 核對版本，所有參數是否與《條件設定表》相一致。如：壓力，溫度，速度等.

     B 顯影前Mylar是否撕盡，化驗的藥液濃度是否與《條件設定表》要求相一致.

C 檢驗是否有顯影不凈，蝕刻不凈，開路，短路，破孔，線寬線距是否符合要求等.

貼合：A 檢驗面向確認是否有貼反現象.

B 檢驗在貼合過程中是否有偏位，板面是否有氧化，異物等不良現象.

C 機種編號、覆蓋膜開窗是否與圖紙相符

D 覆蓋膜是否除塵及除塵手勢確認

 E 風淋室是否開啟，設定吹風時間：10S

F 粘腳墊更換記錄及頻率

G 撕覆蓋膜手勢確認

 H 熨斗溫度點檢狀況確認（一周一次）

I 溫、濕度管控記錄確認

 J 車間人員手指套配戴狀況確認

 K 查核貼合車間的保養狀況及5S

資料整理：青島美特斯凈化設備有限公司   趙德平